超純水設(shè)備系統(tǒng)在半導(dǎo)體晶片制造過程中重起到至關(guān)重要的作用。在一個生產(chǎn)周期內(nèi)，一個晶片與超純水的接觸超過35次，在任何一個環(huán)節(jié)發(fā)生供水中斷或者水質(zhì)不合格都會影響晶片的質(zhì)量，甚至導(dǎo)致產(chǎn)品的報廢。水處理之家網(wǎng)認(rèn)為，穩(wěn)定可靠的超純水設(shè)備系統(tǒng)是**高品質(zhì)半導(dǎo)體晶片可持續(xù)生產(chǎn)的關(guān)鍵。
一、半導(dǎo)體晶片超純水設(shè)備系統(tǒng)簡介
本方案以半導(dǎo)體晶片生產(chǎn)用超純水設(shè)備系統(tǒng)為案例，詳細(xì)講解205T/H的超大型超純水設(shè)備系統(tǒng)設(shè)計特點(diǎn)、工藝流程、超純水供水網(wǎng)管設(shè)計等。
對于原水中的各種雜質(zhì)，可以選用的去除方式多種多樣，每一種凈化設(shè)備基于不同的凈化原理，對各種雜質(zhì)的去除效率各不相同，甚至某些設(shè)備在去除特定雜質(zhì)的同時會引起其他雜質(zhì)數(shù)值的上升。超純水設(shè)備系統(tǒng)設(shè)計的過程就是在滿足水質(zhì)要求的前提下尋找一個投資與操作優(yōu)化的凈化設(shè)備組合方案的過程。不同凈化設(shè)備對各種雜質(zhì)的去除效率。對超純水水質(zhì)的指標(biāo)要求：
二、半導(dǎo)體晶片超純水設(shè)備系統(tǒng)設(shè)計特點(diǎn)
典型的超純水設(shè)備系統(tǒng)流程可分為部分：預(yù)處理、初級制水、精制水。在全球水資源日益匱乏的今日，超純水的回收再利用已經(jīng)成為超純水設(shè)備系統(tǒng)設(shè)計必不可缺的一部分。一般而言，經(jīng)工藝機(jī)臺使用的超純水除了PH值，電導(dǎo)率，TOC等指標(biāo)較差外，大部分指標(biāo)都優(yōu)于市政供水，只要有針對性地設(shè)計一些凈化設(shè)備，完全可以將超過70％的超純水供水回收再利用，達(dá)到節(jié)水環(huán)保的目的。當(dāng)然，回收率越高，其設(shè)備投資及操作運(yùn)行成本也越高。本系統(tǒng)的流程設(shè)計充分考慮到工程水質(zhì)要求高，水量超過250噸小時的特點(diǎn)，各部分的設(shè)計兼顧經(jīng)濟(jì)性和可操作性，巧妙地將超純水回收利用系統(tǒng)融合于制備系統(tǒng)。
三、半導(dǎo)體晶片超純水設(shè)備系統(tǒng)工藝流程
自來水—加藥—多介質(zhì)過濾器—常壓脫氣塔—換熱器—10μm過濾器—一級反滲透 —預(yù)處理水箱—活性炭過濾器—離子交換器—去離子水箱—紫外線殺菌燈—1μm過濾器—二級反滲透—中間水箱—去有機(jī)物紫外線—混床—0.45μm過濾器—膜脫氣裝置—純水設(shè)備—冷卻箱—去有機(jī)物紫外線—拋光床—超濾系統(tǒng)—輸送管網(wǎng)—用水點(diǎn)
四、半導(dǎo)體晶片超純水設(shè)備系統(tǒng)設(shè)計方案
預(yù)處理：
1.PAC、NaCl0加藥：絮凝劑PAC有助于原水中的膠體粒子和懸浮固體凝集成易被多介質(zhì)過濾器的大基團(tuán)，而NaCl0具有殺菌，分解有機(jī)物的作用。
2.多介質(zhì)過濾器：去除原水中經(jīng)絮凝的膠體粒子和懸浮固體，可通過反沖洗再生。H，S0 加藥，常壓脫氣塔：加H，S0 可將原水中的HC0 一生成C02在常壓脫氣塔中脫除，常壓脫氣塔是針對本工程大水量的特點(diǎn)而設(shè)計的，可以提高真空膜脫氣的除氧效率，減少昂貴的脫氣膜組的使用量。
3.熱交換器：在冬季原水水溫較低時使用熱交換器加熱反滲透進(jìn)水以提高反滲透系統(tǒng)的除鹽率，保證出水水質(zhì)。
4.10 u m預(yù)過濾器：過濾顆粒雜質(zhì)，保護(hù)反滲透膜。
5.一級反滲透：反滲透對除了溶解氣體以外的大部分雜質(zhì)都有較好的脫除效果。不同材質(zhì)的反滲透膜操作條件不同，脫除雜質(zhì)的效率也不同。醋酸纖維(CA)膜。醋酸纖維(CA)膜脫除率比復(fù)合(TFC)膜低，本設(shè)計用于一級反滲透，作為預(yù)處理階段去除大量離子等雜質(zhì)之用。反滲透膜需定期加藥清洗以去除表面污染及結(jié)垢，保證反滲透效率并延長膜的壽命。
6.預(yù)處理水箱：儲存一級反滲透產(chǎn)水，收集工藝機(jī)臺使用過的回收純水。
7.活性炭過濾器：表面具有無數(shù)10—10 A微孔的活性炭吸附預(yù)處理水尤其是回收純水中的有機(jī)物，并通過反沖洗再生。
8.離子交換塔：離子交換塔包括陽離子樹脂床和陰離子樹脂床，主要為去除回收純水中的各種陰陽離子，降低電導(dǎo)率而設(shè)計，同時可進(jìn)一步純化預(yù)處理水，保證水質(zhì)離子交換樹脂定時用酸堿再生后可反復(fù)使用。
初級制水：
1.去離子水箱：儲存去離子水，調(diào)節(jié)和平衡預(yù)處理系統(tǒng)和初級制水系統(tǒng)的運(yùn)行。
2.紫外線殺菌：波長254nm的紫外線燈可達(dá)到殺菌的作用。
3.1um過濾器：過濾顆粒雜質(zhì)，保護(hù)反滲透膜。
4.二級反滲透： 采用復(fù)合(TFC)膜的二級反滲透可去除高達(dá)95％ 以上的各種離子和有機(jī)物。
5.中間水箱：儲存二級反滲透產(chǎn)水，充普通氮?dú)猓艚^空氣，以保護(hù)水質(zhì)不受污染。
6.去有機(jī)物紫外線： 波長1 85mm 的紫外線燈可分解有機(jī)物至二氧化碳和水。
7.混床：不同于離子交換塔中陰陽離子樹脂，混床中使用的樹脂可以在較低的離子濃度下獲得很好的脫除效率，混床出水電阻率已達(dá)1 7M Q．cm以上，接近超純水電阻率要求。
8.0.45um過濾器：去除去離子水中的顆粒雜質(zhì)，并捕捉水中可能帶出的破碎的混床樹脂微粒，以保護(hù)膜脫氣裝置的脫氣膜不受損害。
9.膜脫氣裝置：加真空氮?dú)獯祾叩哪っ摎庋b置可保證產(chǎn)水中溶氧達(dá)到小于lppb的要求，與早期的真空氮?dú)獯祾叩奶盍纤啾?，具有脫氣率高，占空間小，節(jié)省氮?dú)獾膬?yōu)點(diǎn)。

反滲透設(shè)備
RO反滲透原理及技術(shù)特點(diǎn):
反滲透裝置是脫除水中鹽分和各種雜質(zhì)藉膜分離進(jìn)行水處理的設(shè)備。它可以有效地除去原水中溶解的離子，除去有機(jī)物大分子以及、等有害污染物。
RO反滲透裝置采用美國進(jìn)口膜元件，壓力容器及測量儀表等主要部件組裝，有較好的質(zhì)量價格比，也可根據(jù)用戶需要從美國進(jìn)口原裝設(shè)備。
RO反滲透裝置的特點(diǎn):
◆由美國進(jìn)口膜元件組裝，單臺產(chǎn)水量0.5—200m3/h，多種反滲透產(chǎn)品系列供選用
◆采用耐腐蝕性能好的不銹鋼高壓泵，可選用國產(chǎn)的或國外進(jìn)口
◆配有美國進(jìn)口的在線產(chǎn)品水、濃水計，可選用濃水回表
◆可選用在線產(chǎn)品水電導(dǎo)率儀、PH計、自動沖洗、液位自動控制、高壓泵壓力自動控制
◆可選用PLC程序控制自動起停、加藥及沖洗
◆可配置有清洗系統(tǒng)，以備膜污染后清洗之用
◆采用不銹鋼精密過濾，配以聚丙烯濾芯
◆采用耐腐蝕噴涂鋼架或不銹鋼架
RO反滲透裝置適用領(lǐng)域:
苦咸水淡化：高氟地區(qū)飲用水；
高硬水硬度去除；發(fā)電廠、電子、制藥、金屬加工用線純水；
食品、飲料、罐裝純凈水用水；、實(shí)驗(yàn)室用水。

近幾年，水處理行業(yè)發(fā)展的如火如荼，很多廠家都購買了純凈水設(shè)備，但是現(xiàn)在新的問題又出現(xiàn)了，純凈水設(shè)備使用后如何保養(yǎng)呢?下面小編為大家介紹一下吧。
1、一般純凈水設(shè)備在工作1-5個月的時候，應(yīng)該對設(shè)備進(jìn)行內(nèi)外部清洗，清洗使用工業(yè)清洗劑，這樣能夠快速的對設(shè)備進(jìn)行清洗。并且能夠徹底的清除部件中殘留的雜質(zhì)。
2、上面的工作是對設(shè)備的徹底清洗，清洗之后需要對設(shè)備進(jìn)行吹干，然后使用機(jī)械潤滑油對重要的零部件進(jìn)行擦拭，這樣可以讓設(shè)備在工作的時候，零部件之間的摩擦力度減小。
3、如果長時間不使用設(shè)備的話，可以按照以上的兩種步驟進(jìn)行處理，擺放好設(shè)備再使用保鮮膜纏繞重要部位防止落灰，后使用布完全籠罩設(shè)備，基本上就處理完了。
通過上面萊特萊德小編對純凈水設(shè)備使用后如何保養(yǎng)的介紹，可以看出想要保養(yǎng)好自己的設(shè)備是需要花費(fèi)很多的功夫和精力的，不然馬馬的處理過后，并不會有很好的維護(hù)保養(yǎng)的效果，另外如果您知道純凈水設(shè)備每天可以工作多久這個問題，對于設(shè)備的壽命的延長也是非常重要的。

貴州水處理設(shè)備，超純水機(jī)的工藝配置與保養(yǎng)
精密濾芯、活性炭濾芯、反滲透膜、純化柱都是具有相對壽命的材料，精密濾芯和活性炭濾芯實(shí)際上是對反滲透膜的保護(hù)，如果它們失效，那么反滲透膜的負(fù)荷就加重，壽命減短，如果繼續(xù)開機(jī)的話，那產(chǎn)生的純水水質(zhì)就下降，隨之就加重了純化柱的負(fù)擔(dān)，則純化柱的壽命就會縮短。終結(jié)果是加大了超純水機(jī)的使用成本。所以，在實(shí)驗(yàn)室超純水機(jī)的使用中，有以下方面的事情需要注意。
工藝
1、預(yù)處理系統(tǒng)→反滲透系統(tǒng)→中間水箱→粗混合床→精混合床→純水箱→純水泵→紫外線殺菌器→拋光混床→精密過濾器→用水對象(≥18MΩ.CM)(傳統(tǒng)工藝)
2、預(yù)處理→反滲透→中間水箱→水泵→EDI裝置→純化水箱→純水泵→紫外線殺菌器→拋光混床→0.2或0.5μm精密過濾器→用水對象(≥18MΩ.CM)(新工藝)
3、預(yù)處理→一級反滲透→加藥機(jī)(PH調(diào)節(jié))→中間水箱→第二級反滲透(正電荷反滲膜)→純水箱→純水泵→EDI裝置→紫外線殺菌器→0.2或0.5μm精密過濾器→用水對象(≥17MΩ.CM)(新工藝)
4、預(yù)處理→反滲透→中間水箱→水泵→EDI裝置→純水箱→純水泵→紫外線殺菌器→0.2或0.5μm精密過濾器→用水對象(≥15MΩ.CM)(新工藝)
5、預(yù)處理系統(tǒng)→反滲透系統(tǒng)→中間水箱→純水泵→粗混合床→精混合床→紫外線殺菌器→精密過濾器→用水對象(≥15MΩ.CM)(傳統(tǒng)工藝)
保養(yǎng)
首先簡單認(rèn)識一下超純水機(jī)，自來水經(jīng)過精密濾芯和活性炭濾芯進(jìn)行預(yù)處理，過濾泥沙等顆粒物和吸附異味等，讓自來水變得更加干凈，然后再通過反滲透裝置進(jìn)行水質(zhì)純化脫鹽，純化水進(jìn)入儲水箱儲存起來，其水質(zhì)可以達(dá)到國家水標(biāo)準(zhǔn)，同時反滲透裝置產(chǎn)水的廢水(亦稱“濃水”)排掉。反滲透純水通過純化柱進(jìn)行深度脫鹽處理就得到一級水或者超純水，后如果用戶有要求，則在超純水后面加上紫外殺菌或者微濾、超濾等裝置，除去水中余的、微粒、熱源等。
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